固化物的制造方法、半导体器件的制造方法、处理液及树脂组合物与流程
技术特征：
1.一种固化物的制造方法，其包括：
2.根据权利要求1所述的固化物的制造方法，其中，
3.根据权利要求1所述的固化物的制造方法，其中，
4.根据权利要求1或3所述的固化物的制造方法，其中，
5.根据权利要求1至4中任一项所述的固化物的制造方法，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的固化物的制造方法，其中，
7.根据权利要求1至6中任一项所述的固化物的制造方法，其中，
8.根据权利要求1至7中任一项所述的固化物的制造方法，其中，
9.根据权利要求1至8中任一项所述的固化物的制造方法，其中，
10.根据权利要求9所述的固化物的制造方法，其中，
11.根据权利要求9所述的固化物的制造方法，其中，
12.根据权利要求1至8中任一项所述的固化物的制造方法，其中，
13.根据权利要求9至12中任一项所述的固化物的制造方法，其中，
14.根据权利要求1至13中任一项所述的固化物的制造方法，其中，
15.根据权利要求1至14中任一项所述的固化物的制造方法，其中，
16.根据权利要求1至15中任一项所述的固化物的制造方法，其中，
17.根据权利要求1至16中任一项所述的固化物的制造方法，其中，
18.根据权利要求1至17中任一项所述的固化物的制造方法，其中，
19.一种半导体器件的制造方法，其包括权利要求1至18中任一项所述的固化物的制造方法。
20.一种处理液，其用于固化物的制造方法，该固化物的制造方法包括：
21.一种树脂组合物，其包含含有由式(1)表示的重复单元的聚酰亚胺前体，
技术总结
一种固化物的制造方法、包含上述固化物的半导体器件的制造方法、上述固化物的制造方法中使用的处理液以及上述固化物的制造方法，该固化物的制造方法包括：膜形成工序，将包含含有由式(1)表示的重复单元的聚酰亚胺前体及溶剂的树脂组合物应用于基材上而形成膜；处理工序，使处理液与上述膜接触；及加热工序，在上述处理工序之后，对上述膜进行加热，上述处理液含有选自由碱性化合物及产碱剂组成的组中的至少1种化合物。
技术研发人员：奈良裕树,尾田和也
受保护的技术使用者：富士胶片株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/11/14
文档序号 :
【 40003040 】
技术研发人员：奈良裕树,尾田和也
技术所有人：富士胶片株式会社
备 注：该技术已申请专利，仅供学习研究，如用于商业用途，请联系技术所有人。
声 明 ：此信息收集于网络，如果你是此专利的发明人不想本网站收录此信息请联系我们，我们会在第一时间删除
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