一种沉积Dy、Hf改性AlCoCrFeNi高熵合金薄膜提高TiAl合金抗氧化性能的方法
技术特征：
1.一种沉积dy、hf改性alcocrfeni高熵合金薄膜提高tial合金抗氧化性能的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种沉积dy、hf改性alcocrfeni高熵合金薄膜提高tial合金抗氧化性能的方法，其特征在于，步骤s3中，磁控溅射参数为：ti-45al-8nb基体的温度80～100℃，alcocrfeni高熵合金靶材的功率300w，溅射时间7～8h，气压0.4pa，真空度1x10-4～6x10-4pa。
3.根据权利要求1所述的一种沉积dy、hf改性alcocrfeni高熵合金薄膜提高tial合金抗氧化性能的方法，其特征在于，步骤s1还包括如下步骤：
4.根据权利要求1所述的一种沉积dy、hf改性alcocrfeni高熵合金薄膜提高tial合金抗氧化性能的方法，其特征在于，步骤s2还包括如下步骤：
5.根据权利要求1所述的一种沉积dy、hf改性alcocrfeni高熵合金薄膜提高tial合金抗氧化性能的方法，其特征在于，改性alcocrfeni高熵合金靶材中，dy、hf的掺杂量为0.01-0.03％at。
6.根据权利要求4所述的一种沉积dy、hf改性alcocrfeni高熵合金薄膜提高tial合金抗氧化性能的方法，其特征在于，改性alcocrfeni高熵合金靶材中，al、co、cr、fe、ni的原子比为1：1：1：1：1。
7.根据权利要求3所述的一种沉积dy、hf改性alcocrfeni高熵合金薄膜提高tial合金抗氧化性能的方法，其特征在于，所述步骤1)中，试样先后采用200#，400#，800#，1000#，1200#的水磨砂纸磨光。
8.根据权利要求3或4所述的一种沉积dy、hf改性alcocrfeni高熵合金薄膜提高tial合金抗氧化性能的方法，其特征在于，所述酒精溶液的质量分数为85-99.9％。
9.根据权利要求1所述的一种沉积dy、hf改性alcocrfeni高熵合金薄膜提高tial合金抗氧化性能的方法，其特征在于，称取纯金属原料al、co、cr、fe、ni以及纯活性原料dy、hf前，对块状、颗粒状及片状纯金属原料al、co、cr、fe、ni与纯活性原料dy、hf进行机械打磨并放入丙酮或无水乙醇中进行超声清洗，去掉氧化膜和沉积物杂质，按照熔点由低到高的顺序依次放入到nb箔中一同包覆并放置于铜坩埚底部，进行熔炼。
10.根据权利要求9所述的一种沉积dy、hf改性alcocrfeni高熵合金薄膜提高tial合金抗氧化性能的方法，其特征在于，熔炼时抽真空至4～5×10-3pa，并充入高纯氩气到1.0×105pa进行保护，在氩气保护下对原料反复熔炼5-6次。
技术总结
本申请公开了一种沉积Dy、Hf改性AlCoCrFeNi高熵合金薄膜提高TiAl合金抗氧化性能的方法，涉及高熵合金薄膜制备领域，包括以下步骤：以Ti、Al、Nb为合成原料，利用真空非自耗电弧熔炼技术，制备Ti‑45Al‑8Nb基体；S2、称取纯金属原料Al、Co、Cr、Fe、Ni以及纯活性原料Dy、Hf，利用真空非自耗电弧熔炼技术制备得到改性AlCoCrFeNi高熵合金靶材；S3、将步骤S1中的Ti‑45Al‑8Nb基体安装在磁控溅射设备的夹具上，将步骤S2中改性AlCoCrFeNi高熵合金靶材放置在射频靶上，利用磁控溅射技术，得到覆盖改性AlCoCrFeNi高熵合金薄膜的TiAl合金。因此，本申请采用上述的一种沉积Dy、Hf改性AlCoCrFeNi高熵合金薄膜提高TiAl合金抗氧化性能的方法，得到的改性AlCoCrFeNi高熵合金薄膜提高了TiAl合金的抗氧化性能。
技术研发人员：周春根,张硕,张园咪
受保护的技术使用者：北京航空航天大学
技术研发日：
技术公布日：2024/11/14
技术研发人员：周春根,张硕,张园咪
技术所有人：北京航空航天大学
备 注：该技术已申请专利，仅供学习研究，如用于商业用途，请联系技术所有人。
声 明 ：此信息收集于网络，如果你是此专利的发明人不想本网站收录此信息请联系我们，我们会在第一时间删除