一种超纯水抛光系统的制作方法

1.一种超纯水抛光系统，其特征在于，包括：水箱、供水管路和回流管路，所述回流管路串联有回流比例背压阀和回流纯水箱自动阀，所述回流管路的出口与所述水箱的入水口连接，所述供水管路的入口与所述水箱的出水口连接；

2.根据权利要求1所述的超纯水抛光系统，其特征在于，所述回流纯水箱自动阀与所述水箱的入水口之间还设有回流抛光混床。

3.根据权利要求2所述的超纯水抛光系统，其特征在于，所述回流抛光混床位于所述回流滤器的上游。

4.根据权利要求1至3任一项所述的超纯水抛光系统，其特征在于，所述超纯水工艺处理设备由上游至下游依次包括送水泵、热交换器、二级降总有机碳紫外线装置、抛光混床、二级脱气膜、终端增压泵、终端微滤和终端超滤。

5.根据权利要求4所述的超纯水抛光系统，其特征在于，所述抛光混床包括一级抛光混床和二级抛光混床。

6.根据权利要求1所述的超纯水抛光系统，其特征在于，所述回流纯水箱自动阀与所述水箱的入水口之间还设有回流脱气膜。

7.根据权利要求6所述的超纯水抛光系统，其特征在于，所述回流脱气膜位于所述回流抛光混床和所述回流滤器之间。

8.根据权利要求1所述的超纯水抛光系统，其特征在于，所述回流滤器包括回流微滤和/或回流超滤。

9.根据权利要求8所述的超纯水抛光系统，其特征在于，当所述回流滤器包括回流微滤和回流超滤时，所述回流超滤位于所述回流微滤的下游。

10.根据权利要求8所述的超纯水抛光系统，其特征在于，所述回流微滤的滤芯精度介于0.1微米至0.04微米之间；