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一种超纯水抛光系统的制作方法

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技术特征:

1.一种超纯水抛光系统,其特征在于,包括:水箱、供水管路和回流管路,所述回流管路串联有回流比例背压阀和回流纯水箱自动阀,所述回流管路的出口与所述水箱的入水口连接,所述供水管路的入口与所述水箱的出水口连接;

2.根据权利要求1所述的超纯水抛光系统,其特征在于,所述回流纯水箱自动阀与所述水箱的入水口之间还设有回流抛光混床。

3.根据权利要求2所述的超纯水抛光系统,其特征在于,所述回流抛光混床位于所述回流滤器的上游。

4.根据权利要求1至3任一项所述的超纯水抛光系统,其特征在于,所述超纯水工艺处理设备由上游至下游依次包括送水泵、热交换器、二级降总有机碳紫外线装置、抛光混床、二级脱气膜、终端增压泵、终端微滤和终端超滤。

5.根据权利要求4所述的超纯水抛光系统,其特征在于,所述抛光混床包括一级抛光混床和二级抛光混床。

6.根据权利要求1所述的超纯水抛光系统,其特征在于,所述回流纯水箱自动阀与所述水箱的入水口之间还设有回流脱气膜。

7.根据权利要求6所述的超纯水抛光系统,其特征在于,所述回流脱气膜位于所述回流抛光混床和所述回流滤器之间。

8.根据权利要求1所述的超纯水抛光系统,其特征在于,所述回流滤器包括回流微滤和/或回流超滤。

9.根据权利要求8所述的超纯水抛光系统,其特征在于,当所述回流滤器包括回流微滤和回流超滤时,所述回流超滤位于所述回流微滤的下游。

10.根据权利要求8所述的超纯水抛光系统,其特征在于,所述回流微滤的滤芯精度介于0.1微米至0.04微米之间;


技术总结
本发明涉及超纯水抛光技术领域,公开一种超纯水抛光系统,超纯水抛光系统包括:水箱、供水管路和回流管路,回流管路串联有回流比例背压阀和回流纯水箱自动阀,回流管路的出口与水箱的入水口连接,供水管路的入口与水箱的出水口连接;供水管路上设有用于调节超纯水参数的超纯水工艺处理设备,回流纯水箱自动阀与水箱的入水口之间设有回流滤器,突破不在回流管路设置超纯水工艺处理设备的思维定势和固有做法,克服了技术偏见,在回流纯水箱自动阀与水箱的入水口之间设有回流滤器,用于滤除回流管路中回流水的污染物,与供水管路的超纯水工艺处理设备一起形成处理工艺流程的全闭环,缓解回流管路中回流水容易出现污染物的技术问题。

技术研发人员:李刚,曹旻,王鹏
受保护的技术使用者:世源科技工程有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/11/14
文档序号 : 【 40002790 】

技术研发人员:李刚,曹旻,王鹏
技术所有人:世源科技工程有限公司

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李刚曹旻王鹏世源科技工程有限公司
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