多层电感器的制作方法

本公开涉及一种多层电感器。

背景技术：

1、最近，随着移动装置的功能多样化，功耗已经增加。因此，在电源管理集成电路(pmic)周围采用具有低损耗和优异效率的无源组件，以增加移动装置的电池使用时间。另一方面，为了使产品减薄并增加组件布置的自由度，对低轮廓功率电感器的需求正在增加。

2、功率电感器可基于其结构和制造方法大致分为多层、薄膜和线绕类型。通过在由具有低介电常数的磁性材料或介电材料制成的多个片上分别印刷金属图案，然后堆叠多个片同时将金属图案彼此连接以形成线圈来制造多层电感器。

3、通过印刷金属图案形成的线圈可具有线圈的截面具有尖锐的边缘的形状，使得磁路面积减小。由于线圈的截面的形状是尖锐的，使得层之间出现对准公差，因此存在由于寄生电容引起的频率特性劣化和电感变化的风险。

技术实现思路

1、实施例的一方面在于提供一种多层电感器，该多层电感器改善通过印刷方法形成的线圈的截面结构。

2、然而，本公开的实施例要解决的问题不限于上述问题，并且可在本公开中包括的技术构思的范围内进行各种扩展。

3、根据实施例的多层电感器可包括：主体，包括磁性材料，所述主体具有在第一方向上彼此相对的第一表面和第二表面、在第二方向上彼此相对并连接所述第一表面和所述第二表面的第三表面和第四表面、以及在第三方向上彼此相对并连接所述第一表面至所述第四表面的第五表面和第六表面；多个内电极，设置在所述主体内部；外电极，设置在所述主体外部；以及侧表面覆盖层，分别覆盖所述第三表面和所述第四表面。所述多个内电极中的至少一个内电极可包括在所述第三方向上彼此相对的第一电极表面和第二电极表面以及连接所述第一电极表面和所述第二电极表面并且基本上平行于所述第三表面、所述第四表面或所述第三表面和所述第四表面两者的第三电极表面，并且所述第三电极表面可接触所述侧表面覆盖层。

4、此外，所述至少一个内电极可包括在所述第二方向上彼此相对的两个边缘，并且所述两个边缘包括一个边缘和另一边缘，所述一个边缘包括所述第三电极表面。

5、此外，所述至少一个内电极可具有朝向所述一个边缘的渐缩形状。

6、此外，所述第一电极表面和所述第二电极表面可相交以在所述另一边缘处形成锐角。

7、此外，所述至少一个内电极可具有朝向所述另一边缘的渐缩形状。

8、此外，所述至少一个内电极可具有宽度和第一厚度，所述宽度是所述两个边缘之间的距离，所述第一厚度是在对应于所述宽度的60％的范围内测量的所述第一电极表面与所述第二电极表面之间的距离的平均值，所述第三电极表面可具有沿着所述第三方向的第二厚度，并且所述第二厚度与所述第一厚度的比可大于0且小于等于1。

9、此外，所述第二厚度与所述第一厚度的比可大于0且小于等于0.75。

10、此外，所述第二厚度与所述第一厚度的比可大于0且小于等于0.48。

11、此外，所述第三电极表面可与所述第三表面齐平或与所述第四表面齐平。

12、此外，在垂直于所述第一方向的截面中，所述侧表面覆盖层中的每个沿着所述第二方向的厚度可大于等于10μm且小于等于30μm。

13、此外，所述侧表面覆盖层中的每个和所述主体可包括相同的材料。

14、此外，所述侧表面覆盖层中的每个和所述主体可包括不同的材料。

15、此外，所述侧表面覆盖层中的每个可包括与所述第三电极表面接触的第一覆盖层和覆盖所述第一覆盖层的第二覆盖层，所述第一覆盖层可包括与所述主体的材料不同的材料，并且所述第二覆盖层可包括与所述主体的材料相同的材料。

16、此外，所述第一覆盖层可包括第一磁性颗粒，所述主体可包括第二磁性颗粒，并且所述第一磁性颗粒的粒径可以是所述第二磁性颗粒的粒径的5％或更大且30％或更小。

17、此外，所述外电极可连接到暴露到所述第一表面或所述第二表面的所述多个内电极，可延伸到所述第五表面和所述第六表面，并且可覆盖所述侧表面覆盖层中的每个的在所述第一方向上彼此相对的两个边缘。

18、此外，所述外电极可连接到暴露到所述第一表面或所述第二表面的所述多个内电极并且可延伸到所述第五表面和所述第六表面，并且所述侧表面覆盖层中的每个在所述第三表面与所述第一表面、所述第二表面、所述第五表面和所述第六表面之间的边界处以及在所述第四表面与所述第一表面、所述第二表面、所述第五表面和所述第六表面之间的边界处可接触所述外电极。

19、此外，所述外电极可连接到暴露到所述第五表面或所述第六表面的所述多个内电极，所述外电极可覆盖所述第五表面或所述第六表面的一部分，并且所述侧表面覆盖层中的每个可覆盖所述第一表面、所述第二表面、所述第三表面和所述第四表面。

20、根据实施例的一种多层电感器可包括：主体，包括磁性材料，所述主体具有在第一方向上彼此相对的第一表面和第二表面、在第二方向上彼此相对并连接所述第一表面和所述第二表面的第三表面和第四表面、以及在第三方向上彼此相对并连接所述第一表面至所述第四表面的第五表面和第六表面；多个内电极，设置在所述主体内部；外电极，设置在所述主体外部；以及侧表面覆盖层，分别覆盖所述第三表面和所述第四表面。所述多个内电极中的至少一个内电极可包括在所述第三方向上彼此相对的第一电极表面和第二电极表面以及连接所述第一电极表面和所述第二电极表面并且基本上平行于所述第三表面、所述第四表面或所述第三表面和所述第四表面两者的第三电极表面，并且所述第三电极表面可接触所述侧表面覆盖层。所述至少一个内电极可包括在所述第二方向上彼此相对的两个边缘，并且所述至少一个内电极可具有朝向所述两个边缘中的每个渐缩的形状。

21、此外，在垂直于所述第一方向的截面中，所述侧表面覆盖层中的每个沿着所述第二方向的厚度可大于等于10μm且小于等于30μm。

22、此外，所述至少一个内电极可具有宽度和第一厚度，所述宽度是所述两个边缘之间的距离，所述第一厚度是在对应于所述宽度的60％的范围内测量的所述第一电极表面与所述第二电极表面之间的距离的平均值，所述第三电极表面可具有沿着所述第三方向的第二厚度，并且所述第二厚度与所述第一厚度的比可大于0且小于等于1。

23、根据本实施例的多层电感器，可在通过印刷方法形成的线圈的截面的边缘处形成平坦表面，从而防止磁路减小并且防止发生dc电阻变化和电感变化。

1.一种多层电感器，包括：

2.根据权利要求1所述的多层电感器，其中，所述至少一个内电极包括在所述第二方向上彼此相对的两个边缘，并且所述两个边缘包括一个边缘和另一边缘，所述一个边缘包括所述第三电极表面。

3.根据权利要求2所述的多层电感器，其中，所述至少一个内电极具有朝向所述一个边缘的渐缩形状。

4.根据权利要求2所述的多层电感器，其中，所述第一电极表面和所述第二电极表面相交以在所述另一边缘处形成锐角。

5.根据权利要求4所述的多层电感器，其中，所述至少一个内电极具有朝向所述另一边缘的渐缩形状。

6.根据权利要求2所述的多层电感器，其中，所述至少一个内电极具有宽度和第一厚度，所述宽度是所述两个边缘之间的距离，所述第一厚度是在对应于所述宽度的60％的范围内测量的所述第一电极表面与所述第二电极表面之间的距离的平均值，所述第三电极表面具有沿着所述第三方向的第二厚度，并且所述第二厚度与所述第一厚度的比大于0且小于等于1。

7.根据权利要求6所述的多层电感器，其中，所述第二厚度与所述第一厚度的比大于0且小于等于0.75。

8.根据权利要求6所述的多层电感器，其中，所述第二厚度与所述第一厚度的比大于0且小于等于0.48。

9.根据权利要求3所述的多层电感器，其中，所述第三电极表面与所述第三表面齐平或与所述第四表面齐平。

10.根据权利要求1所述的多层电感器，其中，在垂直于所述第一方向的截面中，所述侧表面覆盖层中的每个沿着所述第二方向的厚度大于等于10μm且小于等于30μm。

11.根据权利要求1所述的多层电感器，其中，所述侧表面覆盖层中的每个和所述主体包括相同的材料。

12.根据权利要求1所述的多层电感器，其中，所述侧表面覆盖层中的每个和所述主体包括不同的材料。

13.根据权利要求1所述的多层电感器，其中，所述侧表面覆盖层中的每个包括与所述第三电极表面接触的第一覆盖层和覆盖所述第一覆盖层的第二覆盖层，

14.根据权利要求13所述的多层电感器，其中，所述第一覆盖层包括第一磁性颗粒，所述主体包括第二磁性颗粒，并且所述第一磁性颗粒的粒径为所述第二磁性颗粒的粒径的5％或更大且30％或更小。

15.根据权利要求1所述的多层电感器，其中，所述外电极连接到暴露到所述第一表面或所述第二表面的所述多个内电极，延伸到所述第五表面和所述第六表面，并且覆盖所述侧表面覆盖层中的每个的在所述第一方向上彼此相对的两个边缘。

16.根据权利要求1所述的多层电感器，其中，所述外电极连接到暴露到所述第一表面或所述第二表面的所述多个内电极并且延伸到所述第五表面和所述第六表面，并且所述侧表面覆盖层中的每个在所述第三表面与所述第一表面、所述第二表面、所述第五表面和所述第六表面之间的边界处以及在所述第四表面与所述第一表面、所述第二表面、所述第五表面和所述第六表面之间的边界处接触所述外电极。

17.根据权利要求1所述的多层电感器，其中，所述外电极连接到暴露到所述第五表面或所述第六表面的所述多个内电极，所述外电极覆盖所述第五表面或所述第六表面的一部分，并且所述侧表面覆盖层中的每个覆盖所述第一表面、所述第二表面、所述第三表面和所述第四表面。

18.一种多层电感器，包括：

19.根据权利要求18所述的多层电感器，其中，在垂直于所述第一方向的截面中，所述侧表面覆盖层中的每个沿着所述第二方向的厚度大于等于10μm且小于等于30μm。

20.根据权利要求19所述的多层电感器，其中，所述至少一个内电极具有宽度和第一厚度，所述宽度是所述两个边缘之间的距离，所述第一厚度是在对应于所述宽度的60％的范围内测量的所述第一电极表面与所述第二电极表面之间的距离的平均值，所述第三电极表面具有沿着所述第三方向的第二厚度，并且所述第二厚度与所述第一厚度的比大于0且小于等于1。