图像传感器及其形成方法与流程

1.一种图像传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的图像传感器，其特征在于，所述部分侧向隔离结构位于相邻的光电二极管区域之间；

4.根据权利要求3所述的图像传感器，其特征在于，所述背部隔离结构在所述半导体衬底的正面的投影横跨对称的两个光电二极管区域。

5.根据权利要求4所述的图像传感器，其特征在于，

6.根据权利要求3所述的图像传感器，所述背部隔离结构在所述半导体衬底的正面的投影位于单个光电二极管区域内，或者，所述背部隔离结构在所述半导体衬底的正面的投影横跨相邻的两个光电二极管区域。

7.根据权利要求6所述的图像传感器，其特征在于，

8.根据权利要求1至7任一项所述的图像传感器，其特征在于，

9.根据权利要求1至7任一项所述的图像传感器，其特征在于，所述背部隔离结构还包括：

10.根据权利要求9所述的图像传感器，其特征在于，

11.根据权利要求9所述的图像传感器，其特征在于，所述垂直交叉隔离槽选自：

12.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，

13.一种图像传感器的形成方法，其特征在于，包括：

14.根据权利要求13所述的图像传感器的形成方法，其特征在于，