感光性树脂组合物、感光性树脂组合物膜、固化物、使用它们的电子元件的制作方法

本发明涉及感光性树脂组合物、感光性树脂组合物膜、固化物、使用它们的电子元件。更详细而言，涉及适合用作声表面波(saw：surface acoustic wave)滤波器、体声波(baw：bulk acorstic wave)滤波器等高频滤波器的中空结构体的屋顶材料的感光性树脂组合物。

背景技术：

1、感光性树脂组合物可通过光刻技术进行微细加工，因此被广泛用作布线基板的绝缘膜。而且，对于将感光性树脂组合物成型为膜状的材料而言，有效利用其膜状特征，正越来越多地应用于形成电子元件的中空结构体的屋顶材料的用途。近年来，对于形成中空结构体的屋顶的感光性树脂组合物膜，需要具有用于形成微细通孔的图案加工性、可耐受密封工序的耐压性。

2、为了提高耐压性，已提出了添加无机填料来提高弹性模量的方法，其中，专利文献1中提出的添加折射率与感光性树脂组合物匹配的玻璃填料的技术，除了通过添加填料来提高耐压性以外，还有望抑制曝光中所使用光的散射，并能够兼顾图案加工性。

3、另外，为了提高分辨率，已提出了利用化学放大型的光阳离子聚合体系形成图案的方法，其中专利文献2中提出的具有选自聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺及聚苯并噁唑中的至少一种化合物的感光性树脂组合物的技术，有望能够兼顾图案加工性及耐压性。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特开2015-118194号公报

7、专利文献2：国际公开2021/059843号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的问题

2、但是，专利文献1中记载的感光性树脂组合物，分辨率不足，难以形成微细的图案，难以具有充足的图案加工性。另外，专利文献2中记载的感光性树脂组合物，固化物的弹性模量低，难以具有充足的耐压性。

3、鉴于上述情况，笔者等进行了深入研究，结果发现通过制成具有聚酰亚胺和结晶性二氧化硅的负型的光阳离子聚合体系的感光性树脂组合物，从而具有优异的图案加工性，固化物的耐压性(弹性模量)优异。

4、解决问题的手段

5、用于解决上述问题的本发明如下所述。

6、一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有(a)聚酰亚胺、(b)阳离子聚合性化合物、(c)光阳离子聚合引发剂及(d)结晶性二氧化硅，且具有负型感光性。

7、发明效果

8、本发明的感光性树脂组合物提供具有优异的图案加工性、固化物的耐压性(弹性模量)优异的负型感光性树脂组合物、感光性树脂组合物膜、固化物、使用它们的电子元件。

1.一种感光性树脂组合物，其包含(a)聚酰亚胺、(b)阳离子聚合性化合物、(c)光阳离子聚合引发剂及(d)结晶性二氧化硅，并且具有负型感光性。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(a)聚酰亚胺在主链中具有脂环结构。

3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，所述(a)聚酰亚胺具有源自脂环式四羧酸二酐的结构。

4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，将所述(a)聚酰亚胺与所述(b)阳离子聚合性化合物的总量设定为100质量％时，所述(b)阳离子聚合性化合物的含量为30～70质量％。

5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，将所述(b)阳离子聚合性化合物的总量设定为100质量％时，作为脂肪族化合物的(b)阳离子聚合性化合物的含量为60质量％以上。

6.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(d)结晶性二氧化硅的平均粒径为0.1～3.0μm。

7.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(d)结晶性二氧化硅的最大粒径为0.5～9.0μm。

8.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，将所述感光性树脂组合物的固形物总质量设定为100质量％时，所述(d)结晶性二氧化硅的含量为30～80质量％。

9.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(d)结晶性二氧化硅通过硅烷偶联剂实施了表面处理，所述硅烷偶联剂具有选自环氧基、苯乙烯基、异氰脲酸酯基、酸酐基、羧酸基、碳原子数为1～10的任意烷基、及苯基中的至少一种。

10.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，还含有(e)分散剂。

11.根据权利要求10所述的感光性树脂组合物，所述(e)分散剂的胺值为0，酸值为10～400。

12.根据权利要求10所述的感光性树脂组合物，所述(e)分散剂为磷酸酯类分散剂。

13.一种感光性树脂组合物膜，其具有由权利要求1所述的感光性树脂组合物形成的感光性树脂组合物覆膜。

14.根据权利要求13所述的感光性树脂组合物膜，所述感光性树脂组合物覆膜在厚度为30μm时的可见光透射率为70％以上且100％以下。

15.一种固化物，其是将权利要求1所述的感光性树脂组合物、权利要求13所述的感光性树脂组合物膜中的感光性树脂组合物覆膜中的任意之一加热固化而得到。

16.根据权利要求15所述的固化物，其在180℃下的弹性模量为4gpa以上。

17.一种电子元件，其具有权利要求15所述的固化物。

18.根据权利要求17所述的电子元件，其具备中空结构体，所述中空结构体具有由所述固化物形成的屋顶部分。

19.根据权利要求17所述的电子元件，所述电子元件为高频滤波器。