一种耐化学氧化抛光垫及其制备方法和用途与流程

1.一种耐化学氧化抛光垫，其特征在于，包括如下原料组分：聚氨酯预聚体、双酚a环氧酚醛共聚物、扩链剂和发泡剂。

2.根据权利要求1所述的耐化学氧化抛光垫，其特征在于，包括如下重量份的原料组分：

3.根据权利要求1所述的耐化学氧化抛光垫，其特征在于，包括如下特征中的一种或多种：所述聚氨酯预聚体的邵氏硬度为73-75hd；

4.根据权利要求1所述的耐化学氧化抛光垫，其特征在于，包括如下特征中的一种或多种：所述双酚a环氧酚醛共聚物为采用双酚a型环氧预聚体与酚醛缩聚物共聚获得；

5.根据权利要求4所述的耐化学氧化抛光垫，其特征在于，包括如下特征中的一种或多种：所述双酚a型环氧预聚体与所述酚醛缩聚物的质量比为(7～30):3；

6.一种如权利要求1～5任一项所述的耐化学氧化抛光垫的制备方法，其特征在于，所述原料组分混合均匀后预固化获得所述耐化学氧化抛光垫。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，在混合前，所述聚氨酯预聚体、所述双酚a环氧酚醛共聚物、所述聚醚二元醇进行预热处理；和/或，在混合前，所述扩链剂进行预热处理。

8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，预固化温度为75～85℃；和/或，预固化后进行后固化处理。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述后固化温度为95～105℃；和/或，后固化处理后进行切片、打磨处理、开槽处理、表面清洁和电晕处理；优选地，所述电晕处理的输入电压为ac300～400v，功率为2～70kw，电极间隙为1～2mm。

10.一种如权利要求1～5任一项所述的耐化学氧化抛光垫在化学机械抛光中用于作为抛光sic衬底用抛光垫的用途。