一种高精密真空室模块化组件运输用固定工装的制作方法

1.一种高精密真空室模块化组件运输用固定工装，包括筒状真空室模块一(106)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的高精密真空室模块化组件运输用固定工装，其特征在于：所述上盖(115)上环形定位胶垫(126)的内圈设置有充气圆孔，所述充气圆孔的上端外围连通设置有环形槽三(118)，所述充气圆孔的上方密封安装有圆形橡胶气囊片二(105)，所述圆形橡胶气囊片二(105)的外围边缘通过压环三(122)固定安装于环形槽三(118)的内底面上，所述压环三(122)的上端贴合设置有胶垫圈三(125)。

3.根据权利要求2所述的高精密真空室模块化组件运输用固定工装，其特征在于：所述上盖(115)上环形定位胶垫(126)的外圈设置有充气环形孔(128)，所述充气环形孔(128)同轴设置于充气圆孔的外围，所述充气环形孔(128)的上端内外圈分别连通设置有环形槽二(117)和环形槽一(116)，所述充气环形孔(128)的上方密封安装有环形橡胶气囊片一(104)，所述环形橡胶气囊片一(104)的内外圈边缘分别通过压环二(121)、压环一(120)固定安装于环形槽二(117)、环形槽一(116)的内底面上，所述压环二(121)、压环一(120)的上端分别贴合安装有胶垫圈二(124)、胶垫圈一(123)。

4.根据权利要求1所述的高精密真空室模块化组件运输用固定工装，其特征在于：所述导轨(107)的下端垂直固定安装于上盖(115)上，多个所述滑座(109)升降安装于多个导轨(107)上，所述滑座(109)和夹板(111)固定连接，一个所述导轨(107)上竖直等距设置有若干个定位孔(108)，所述夹板(111)的上端设置有和若干个定位孔(108)相互对应的插孔(119)，所述插销(110)的末端依次穿过插孔(119)和一个定位孔(108)。

5.根据权利要求1所述的高精密真空室模块化组件运输用固定工装，其特征在于：所述防爆盒一(101)的一侧固定连通有单向充气阀一(102)和排气阀一(103)，所述夹板(111)上固定安装有单向充气阀二(112)和排气阀二(113)，所述单向充气阀二(112)、排气阀二(113)均与筒状气囊(114)内腔相互连通，所述筒状气囊(114)内同轴固定安装有复位弹簧(127)，所述复位弹簧(127)的顶端和夹板(111)的下表面固定连接。

6.一种高精密真空室模块化组件运输用固定工装，包括筒状真空室模块二(208)，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求6所述的高精密真空室模块化组件运输用固定工装，其特征在于：所述定位箱(202)的左侧内壁上贴合安装有防磨胶垫一(203)，所述定位箱(202)的内底面上贴合设置有防磨胶垫二(204)，所述防磨胶垫二(204)的一端设置于定位箱(202)内腔后壁的前方。

8.根据权利要求7所述的高精密真空室模块化组件运输用固定工装，其特征在于：所述定位箱(202)的后壁上贴合设置有海绵垫(205)，所述海绵垫(205)夹持设置于防磨胶垫二(204)和定位箱(202)内腔后壁之间。

9.根据权利要求6所述的高精密真空室模块化组件运输用固定工装，其特征在于：所述矩形橡胶气囊片三(212)的外围边缘通过压环四(213)固定安装于侧板(211)的内壁上，所述压环四(213)的一侧贴合安装有胶垫圈四(214)。

10.根据权利要求6所述的高精密真空室模块化组件运输用固定工装，其特征在于：所述防爆盒二(206)上固定连通有单向充气阀三(209)、排气阀三(210)，所述定位箱(202)的下方固定设置有安装板(201)。