一种双载波激励的高精度电容式角位移传感器

1.一种双载波激励的高精度电容式角位移传感器，其特征在于，包括：壳体、定子敏感结构、转子敏感结构、处理模块和与所述处理模块连接的对外连接接口，所述定子敏感结构上设置有至少一个固定部，所述定子敏感结构通过各所述固定部固定在所述壳体上；所述转子敏感结构利用转轴固定在所述壳体上，且所述转子敏感结构的敏感面与所述定子敏感结构的敏感面正对、所述转子敏感结构的敏感面与所述定子敏感结构的敏感面之间具有预设距离；所述处理模块和所述对外连接接口设置在所述定子敏感结构的与敏感面相对的背面；

2.根据权利要求1所述的电容式角位移传感器，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的电容式角位移传感器，其特征在于，所述处理模块，还用于将所述角度变化信息通过所述对外连接接口传输至外部设备。

4.根据权利要求1或2所述的电容式角位移传感器，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的电容式角位移传感器，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的电容式角位移传感器，其特征在于，

7.根据权利要求5所述的电容式角位移传感器，其特征在于，所述多种转子电极所在的电极圆心、所述转轴的轴心、所述第一转子电极和所述第二转子电极所在的电极旋转中心相同。

8.根据权利要求1所述的电容式角位移传感器，其特征在于，所述正粗测接收电极和所述负粗测接收电极的组数相同，且均为1。

9.根据权利要求5-8任意一项所述的电容式角位移传感器，其特征在于，所述处理模块包括用于产生正激励信号和负激励信号的差分振荡器、4路模拟电路和数字电路，

10.根据权利要求9所述的电容式角位移传感器，其特征在于，每一路模拟电路包括依次连接的c-v转换模块、放大器、σ-δ调制器和抽取滤波器，每一路模拟电路中c-v转换模块用于接收信号、抽取滤波器向外传输输出信号。