一种用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统的制作方法

1.一种用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统，包括设于真空环境中的电离室和与所述电离室相连通的检测器，所述电离室包括灯丝和永久磁体，所述灯丝通过电流产生电子并设于所述永久磁体的磁场中，所述永久磁体将电子和化合分子发生碰撞，形成带电荷的离子，所述检测器将带电荷的离子转化为电信号，其特征在于，所述系统还包括：

2.如权利要求1所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统，其特征在于，所述系统执行以下步骤：

3.如权利要求2所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统，其特征在于，所述检测器包括高能打拿极和电子倍增器，所述信号分析模块与所述电子倍增器电连接，所述高能打拿极将带电荷的离子置换成电子，所述电子倍增器将轰击的电子转为电信号，以便于所述信号分析模块实时监测所述电信号的波动。

4.如权利要求3所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统，其特征在于，所述电子倍增器设有自动增益控制装置，所述自动增益控制装置用于自动调整电子倍增过程中的增益，所述电子倍增器根据从所述高能打拿极接收到的电子数量，自动调整所生成的电信号，以便所述信号分析模块实时监测所述电信号的波动。

5.如权利要求3所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统，其特征在于，所述信号分析模块通过测量电信号的幅度参数并计算其标准差，以确定信号的波动性；

6.如权利要求1所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统，其特征在于，所述系统还包括热成像模块，所述热成像模块朝向所述灯丝，所述热成像模块用于实时监控灯丝的温度分布；

7.如权利要求6所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统，其特征在于，所述热成像模块通过捕捉所述灯丝在运行时发出的红外辐射，获取所述灯丝的温度分布数据，根据所述温度分布数据监控所述灯丝的异常热点和/或不均匀加热范围是否超过预设的第三阈值。

8.如权利要求7所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统，其特征在于，所述热成像模块包括高分辨率的红外摄像机，并自动识别和记录所述灯丝运行期间出现的热点和/或不均匀变化；所述热成像模块通过对连续获取的温度分布数据进行时间序列分析，预测所述灯丝的老化趋势。

9.如权利要求7所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统，其特征在于，所述系统执行以下步骤：

10.如权利要求8所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统，其特征在于，所述系统还包括用于分离不同离子质量的质量分析器，所述质量分析器设于所述电离室与所述检测器之间并与其相连通，所述电离室包括固定壳、离子化区域和推出组件，所述固定壳形成有一个所述离子化区域，所述推出组件设于所述离子化区域内；