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一种用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统的制作方法

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技术特征:

1.一种用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统,包括设于真空环境中的电离室和与所述电离室相连通的检测器,所述电离室包括灯丝和永久磁体,所述灯丝通过电流产生电子并设于所述永久磁体的磁场中,所述永久磁体将电子和化合分子发生碰撞,形成带电荷的离子,所述检测器将带电荷的离子转化为电信号,其特征在于,所述系统还包括:

2.如权利要求1所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统,其特征在于,所述系统执行以下步骤:

3.如权利要求2所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统,其特征在于,所述检测器包括高能打拿极和电子倍增器,所述信号分析模块与所述电子倍增器电连接,所述高能打拿极将带电荷的离子置换成电子,所述电子倍增器将轰击的电子转为电信号,以便于所述信号分析模块实时监测所述电信号的波动。

4.如权利要求3所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统,其特征在于,所述电子倍增器设有自动增益控制装置,所述自动增益控制装置用于自动调整电子倍增过程中的增益,所述电子倍增器根据从所述高能打拿极接收到的电子数量,自动调整所生成的电信号,以便所述信号分析模块实时监测所述电信号的波动。

5.如权利要求3所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统,其特征在于,所述信号分析模块通过测量电信号的幅度参数并计算其标准差,以确定信号的波动性;

6.如权利要求1所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统,其特征在于,所述系统还包括热成像模块,所述热成像模块朝向所述灯丝,所述热成像模块用于实时监控灯丝的温度分布;

7.如权利要求6所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统,其特征在于,所述热成像模块通过捕捉所述灯丝在运行时发出的红外辐射,获取所述灯丝的温度分布数据,根据所述温度分布数据监控所述灯丝的异常热点和/或不均匀加热范围是否超过预设的第三阈值。

8.如权利要求7所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统,其特征在于,所述热成像模块包括高分辨率的红外摄像机,并自动识别和记录所述灯丝运行期间出现的热点和/或不均匀变化;所述热成像模块通过对连续获取的温度分布数据进行时间序列分析,预测所述灯丝的老化趋势。

9.如权利要求7所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统,其特征在于,所述系统执行以下步骤:

10.如权利要求8所述的用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统,其特征在于,所述系统还包括用于分离不同离子质量的质量分析器,所述质量分析器设于所述电离室与所述检测器之间并与其相连通,所述电离室包括固定壳、离子化区域和推出组件,所述固定壳形成有一个所述离子化区域,所述推出组件设于所述离子化区域内;


技术总结
本申请涉及一种用于氦质谱气密性检测设备中的灯丝故障诊断系统,包括设于真空环境中的电离室和与电离室相连通的检测器,电离室包括灯丝和永久磁体,灯丝通过电流产生电子并设于永久磁体的磁场中,永久磁体将电子和化合分子发生碰撞,形成带电荷的离子,检测器将带电荷的离子转化为电信号,系统还包括气体分析模块、信号分析模块,气体分析模块靠近灯丝,用于实时侦测灯丝释放的金属蒸气浓度;信号分析模块与检测器电连接,用于实时监测电信号的波动;当灯丝释放的金属蒸气浓度超过预设的第一阈值,并且电信号的波动超过预设的第二阈值时,系统则会自动诊断灯丝存在故障,并提醒操作人员。从而及时发现和诊断气密性检测设备的故障来源为灯丝老化。

技术研发人员:朱博,廖磊
受保护的技术使用者:深圳市希立仪器设备有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/11/14
文档序号 : 【 40001794 】

技术研发人员:朱博,廖磊
技术所有人:深圳市希立仪器设备有限公司

备 注:该技术已申请专利,仅供学习研究,如用于商业用途,请联系技术所有人。
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朱博廖磊深圳市希立仪器设备有限公司
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