一种激光器芯片偏角检测装置及其使用方法与流程
技术特征:
1.一种激光器芯片偏角检测装置,其特征在于,包括测试底座、测试平台、扫描模块和标尺,测试平台架起在测试底座之上,测试底座与测试平台平行设置;
2.根据权利要求1所述的激光器芯片偏角检测装置,其特征在于,所述测试底座上设置有支柱,支柱将测试平台架起;所述测试平台上设置有与支柱配合的支柱凹槽。
3.根据权利要求2所述的激光器芯片偏角检测装置,其特征在于,所述测试平台一端设置有空槽a,用于放置扫描模块,中心设置有空槽b,用于放置标尺。
4.根据权利要求3所述的激光器芯片偏角检测装置,其特征在于,所述扫描模块内前后设置有两个腔室,其中一个腔室内安装有激光点模组、反射镜和振镜,另一腔室内安装有驱动电路板,用于为激光点模组和振镜供电;激光点模组用于发射准直后的激光光束并投向反射镜,光斑为点状,经反射镜反射后投向振镜,经振镜反射的光束通过光束出射口出射。
5.根据权利要求4所述的激光器芯片偏角检测装置,其特征在于,所述扫描模块上设置有螺丝固定孔,通过螺丝固定于空槽a中,安装后,振镜中心与标尺上表面应位于同一水平高度。
6.根据权利要求5所述的激光器芯片偏角检测装置,其特征在于,所述标尺支架为矩形框架,对标纸边缘粘贴在标尺支架上,标尺支架放置于空槽b中。
7.根据权利要求6所述的激光器芯片偏角检测装置,其特征在于,对标图案的数量与激光器托盘中激光器的数量对应,每一激光器对应一个对标图案,对标图案由对标纸到被测激光器腔面距离、被测激光器到振镜中心投影距离、允许的激光器芯片最大偏角决定。
8.根据权利要求7所述的激光器芯片偏角检测装置,其特征在于,对标图案的确定方式为:假设振镜中心线为o,即扇形光束的发射原点,待测激光器腔面为b,o点在腔面所在平面的投影为a,oa距离为h,ab距离为d,od为对标纸所在平面,当激光器腔面水平无偏角时,光束沿o→b→c路径传播,假设激光器水平偏角合格最大值为θ,则当激光器腔面水平有偏角θ时,反射光束将产生2θ角度的偏转,光束沿o→b→c’或o→b→c”传播,点c’及点c”即应为对标图案方框的最左、最右处,求得oc’、oc”长度,即可绘制对标图案的左右边界;
9.一种权利要求8所述的激光器芯片偏角检测装置的使用方法,其特征在于,包括如下步骤:
10.根据权利要求9所述的激光器芯片偏角检测装置的使用方法,其特征在于,当激光器托盘的规格或偏角合格标准改变时,需要重新标定对标图案,即可继续检测。
技术总结
本发明涉及一种激光器芯片偏角检测装置及其使用方法,属于半导体激光器领域,测试底座上设置有滑轨,用于安装激光器托盘;标尺包括对标纸和标尺支架,对标纸上设置有对标图案,扫描模块用于出射扇形的光束,并照射至激光器托盘的整排激光器中,当光束照射到激光器芯片腔面后反射并照向标尺上,通过判断光斑是否落在各自的对标图案上判断是否偏角合格。本发明可将芯片偏角转换为反射光束光斑偏移,仅需观察光斑偏移情况,便可快速确认芯片偏角是否合格。该装置在激光器芯片固晶后即可快速、批量进行芯片偏角检测,具有较高效率及较低成本,适合在生产对激光方向有较高要求的产品时使用。
技术研发人员:晏骁哲,吴德华,赵克宁,梁盼
受保护的技术使用者:潍坊华光光电子有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/11/14
技术研发人员:晏骁哲,吴德华,赵克宁,梁盼
技术所有人:潍坊华光光电子有限公司
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